培养目标:培养从事微机电系统工程方面的设计制造，生产运行，科技开发和技术经济管理方面的人才。

微机电系统工程专业学生主要学习微机电系统工程的基本知识、基础理论和研究方法；了解微机电系统工程发展方向；具有从事实际工作的基本能力。

1.掌握微机电系统工程的基本知识和基本理论； 　　2.了解微机电系统工程的发展方向； 　　3.掌握微机电系统工程基础理论和研究方法； 　　4.具有实际工作的基本能力； 　　5.熟练掌握一门外国语，具有交流沟通的能力； 　　6.具有一定的归纳、整理、分析、设计、撰写论文的基本能力、进行学术交流的能力、较强的创新意识和创新精神。

微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。